EOP/EOFM解析
目的
EOP(Electro Optical Probing)は半導体デバイス内部の動作波形を取得し、EOFM(Electro Optical Frequency Mapping)は指定周波数動作の箇所を可視化することで、異常動作箇所を特定します。
方法
半導体デバイスの裏面に非コヒーレント光を照射し、その反射光を計測します。EOPでは、論理動作に伴った反射光の強弱を検出し、オシロスコープのようなイメージで内部動作を波形表示させます。
一方、EOFMは反射光をスペクトラムアナライザを使って指定周波数成分を抽出し、その周波数で動作するトランジスタをマッピングする手法です。
EOP＆EOFM原理説明図
解析事例(EOP)
