SEM観察

目的

走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope）は試料に電子線を照射し、放出される二次電子及び反射電子を検出し結像させる装置です。主に試料表面の凹凸や組成に起因した像及び電位コントラスト像を観察できます。

方法

SEM観察では下記の情報が主に得られます。

(1)2次電子像

試料に電子が入射したときに、試料を構成する原子の価電子が放出されたものが二次電子です。エネルギーが極めて小さい為試料の極表面で生成された物だけが検出され、主に50eV以下のエネルギーを持つのに対して分別します。用途:凹凸形状・電位コントラスト像

(2)反射電子像

入射電子が試料中で散乱していく過程で後方に散乱し、試料表面から再び放出されたものを言い、2電子に比べて高いエネルギーを持っています。用途:組成像・チャネリングコントラスト像

(3)元素分析(EDS成分分析)

物質に電子が入射すると様々な電子の他に元素特有のエネルギーを持つX線が放出され、特性X線と呼ばれます。この特性X線をEDS(エネルギー分散型X線分光器)を用いて、横軸にX線のエネルギー縦軸にX線のカウント数を調べ元素の定性・定量・分布マップを得ることが出来ます。