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AES

目的

オージェ電子分光法(Auger Electron Spectroscopy)は試料に電子線を照射し、試料表面数原子層から放出されるオージェ電子のエネルギーを測定し元素の定性・定量を行います。

方法

AESは、①試料表面の元素を調査するだけではなく、検出された元素の②マッピング分析、スパッタイオンガンを併用した元素の③深さ方向分析、④FIB加工を併用した特定箇所の断面分析などの評価が可能です。
検出可能元素は原子番号3(Li)以上の元素の定性分析が可能です。特に、軽元素(Li~)や遷移元素に高感度です。

  • AES分析(Survey)事例

    AES分析(Survey)事例 AES分析(Depth)事例

  • AES分析(Depth)事例

    AES分析(Depth)事例

  • オージェ電子発生原理

    オージェ電子発生原理

AES分析(MAP)事例

バウンダリに析出した成分のMAP

  • SEM

    SEM

  • Au

    Au

  • NI

    NI

AESとEDSの比較

入射電子と試料から得られる各種信号と深さの違い

AESは極表層の分析に適している

AESとEDSの比較

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