AES

目的

オージェ電子分光法（Auger Electron Spectroscopy）は試料に電子線を照射し、試料表面数原子層から放出されるオージェ電子のエネルギーを測定し元素の定性・定量を行います。

方法

AESは、①試料表面の元素を調査するだけではなく、検出された元素の②マッピング分析、スパッタイオンガンを併用した元素の③深さ方向分析、④FIB加工を併用した特定箇所の断面分析などの評価が可能です。
検出可能元素は原子番号3（Li）以上の元素の定性分析が可能です。特に、軽元素（Li～）や遷移元素に高感度です。