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TEM/STEM解析

目的

透過形電子顕微鏡(Transmission Electron Microscope)/走査透過形電子顕微鏡(Scanning Transmission Electron Microscope)は薄片化した試料に電子線を照射し、透過した電子線を結像させる装置です。主に形状、結晶性、組成に起因した像を観察できます。

方法

TEMは数十kV~数百kVに加速した電子線を試料に照射し、透過電子を磁界レンズで拡大することにより観察します。

T形態、結晶構造、電子状態などが得られ、分解能は0.1nm~0.2nmです。

T電子線が透過するように試料を薄片化する必要があり、主にFIBを用いて0.1~0.2μm程度に薄片化を行います。

STEMは細く絞った電子ビームで試料を走査し、各種電子を検出して結像します。

二次電子像(SE)、透過電子像(TE)、散乱電子像(ZC)の観察が可能です。

EDSによる点分析、線分析、元素マッピング(元素(B~U))の定性分析が可能です。

EELSによる点分析、元素マッピング(元素(Li~))、及び化学結合状態の測定が可能です。

※EDS、EELSの検出下限は%オーダーです。

  • STEM ニ次電子像(SE)観察例

    STEM ニ次電子像(SE)観察例

  • STEM 透過電子像(TE)観察例

    STEM 透過電子像(TE)観察例

  • STEM 散乱電子像(ZC)観察例

    STEM 散乱電子像(ZC)観察例

  • 平面TEM 観察事例

    平面TEM 観察事例

  • 平面TEM 観察事例
  • 断面TEM 観察事例

    断面TEM 観察事例

  • 断面TEM 観察事例
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