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EELS

目的

電子エネルギー損失分光法(Electron Energy Loss Spectroscopy)は薄片化した試料に電子線を照射し、試料と電子線の相互作用により損失した電子のエネルギーを測定することで元素及び結合状態を特定します。

方法

EELSの特徴は結合状態に依存して損失した電子のエネルギーピーク形状が変化するため化学結合状態を特定できることです。
(空間分解能:~1nm、検出下限:数% )

EELS原理

EELS原理

EELS分析事例

EDS 分析事例

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