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EDS

目的

エネルギー分散型X線分光法 (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)は試料に電子線を照射し発生した特性X線のエネルギを検出器で測定することにより元素の定性、半定量を行います。

方法

EDSでは点分析、線分析、面分析が行えます。点分析は~1nmの1点に存在する元素を検出します。線分析と面分析は注目元素を特定の線上または面内のにどの様に分布しているかを表示することができます。
(空間分解能:~1nm、検出下限:数% )

EDS原理

EDS原理

EDS 分析事例

EDS 分析事例

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