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SAT

目的

試料内部の情報(クラック,空隙などの有無とロケーション)を超音波の反射波を用い非破壊で観察します。

方法

音響レンズを備えた超音波センサに繰り返しパルス電圧を印加し、発生させた超音波を音響レンズより観察したい試料観察面に照射します。
超音波が試料表面や内部欠陥で反射した後、再びセンサに戻ります。反射波(エコー)の強度を測定し、特定位置に対応する画像上の明るさを反射強度に応じ表示された画像から、試料内部の微小な亀裂や剥離(隙間)を検出いたします。

SAT観察事例(フリップチップBGA品内部観察)

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SAT観察事例 (QFPパッケージ品内部観察)

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