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元素分析

目的

汚染評価などを目的として、電子材料などの試料表面や含有する金属成分の濃度を測定します。

方法

ICP発光分析(ICP-OES)、ICP質量分析(ICP-MS)、原子吸光装置などにより微量な金属元素を定量分析します。

  • ICP-MS装置

    ICP-MS装置

  • ICP-MS原理

    ICP-MS原理

  • ICP-OES装置

    ICP-OES装置

  • ICP-OES原理

    ICP-OES原理

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